Vakuum Lichtbogenverdampfungsquelle, sowie eine Lichtbogenverdampfungskammer mit einer Vakuum Lichtbogenverdampfungsquelle

EP2140476 Art B1 18. Mai 2016

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon, Oerlikon Metaplas GmbH, Sulzer Metaplas GmbH 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2140476
Aktenzeichen: EP08717591
Anmeldetag: 11. März 2008
Veröffentlichung: 18. Mai 2016
Erteilung: 18. Mai 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Oerlikon Metaplas GmbH
Sulzer Metaplas GmbH
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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