Spannungsversorgung für eine Sputteranlage

EP2140543 Art A2 6. Januar 2010

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Melec Gmbh, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2140543
Aktenzeichen
EP08715542
Anmeldetag
6. März 2008
Veröffentlichung
6. Januar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H02M3/28H05H1/24H02M3/335H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Melec Gmbh
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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