Poliervorrichtung und Programm dafür
EP2141737
Art B1
3. Juli 2013
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2141737
- Aktenzeichen
- EP08740808
- Anmeldetag
- 17. April 2008
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2013
- Erteilung
- 3. Juli 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Fachgebiete
Vertreten von
Wagner, Karl H
München, Deutschland
2.990
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17
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