Anordnung zur Ausbildung von Beschichtungen auf Substraten im Vakuum

EP2142681 Art B1 22. August 2012

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2142681
Aktenzeichen: EP08757988
Anmeldetag: 21. April 2008
Veröffentlichung: 22. August 2012
Erteilung: 22. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/32C23C14/56H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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