Kobalt-Nitrid-Schichten für Kupfermikroverdrahtungen und Verfahren zu Ihrer Herstellung

EP2142682 Art B1 3. Dezember 2014

Anmelder: President and Fellows of Harvard College 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2142682
Aktenzeichen
EP08870410
Anmeldetag
9. April 2008
Veröffentlichung
3. Dezember 2014
Erteilung
3. Dezember 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18C07C211/65H01L23/532C23C16/34H01L21/768C23C16/455H01L21/285C23C16/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
President and Fellows of Harvard College
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Harvard University

US-amerikanische Elite-Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts. Harvard betreibt Forschung und Patentierung in zahlreichen Feldern, insbesondere Biotechnologie, Medizin, Life Sciences und Materialwissenschaften.

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