Verbesserter Prozess zum Herstellen Gereinigter Oberflächen aus Verspanntem Silizium
EP2143135
Art A1
13. Januar 2010
Anmelder: Soitec, S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2143135
- Aktenzeichen
- EP07804888
- Anmeldetag
- 3. Mai 2007
- Veröffentlichung
- 13. Januar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Soitec
S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Soitec
Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.
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