Verfahren zur Messung einer mehrschichtigen Struktur und Vorrichtung zur Messung einer mehrschichtigen Struktur

EP2144034 Art A1 13. Januar 2010

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2144034
Aktenzeichen: EP09163477
Anmeldetag: 23. Juni 2009
Veröffentlichung: 13. Januar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01B11/06A61B3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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