Mehrschichtfilm-Reflexionsspiegel, Belichtungsvorrichtung, Bauelementeherstellungsverfahren und Herstellungsverfahren für einen Mehrschichtfilm-Reflexionsspiegel

EP2145214 Art B1 17. September 2014

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2145214
Aktenzeichen: EP08740779
Anmeldetag: 16. April 2008
Veröffentlichung: 17. September 2014
Erteilung: 17. September 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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