Verfahren zum Bonden von Substraten und MEMS Bauteil

EP2145855 Art B1 26. Februar 2020

Anmelder: Omron Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2145855
Aktenzeichen
EP09165177
Anmeldetag
10. Juli 2009
Veröffentlichung
26. Februar 2020
Erteilung
26. Februar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00H01L21/02H01L21/50H01L21/762H01L23/00H01L23/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Omron Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Omron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Kyoto. Omron entwickelt Automatisierungstechnik, Steuerungen, Sensoren und Robotik für die Industrie sowie elektronische Bauteile und medizintechnische Geräte.

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