Verfahren zum Entfernen von Mems-Bauelementen von einem Trägersubstrat
EP2146924
Art B1
6. März 2013
Anmelder: Zamtec Limited, Silverbrook Research Pty. Ltd 🇮🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2146924
- Aktenzeichen
- EP08733447
- Anmeldetag
- 6. Mai 2008
- Veröffentlichung
- 6. März 2013
- Erteilung
- 6. März 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Zamtec Limited
Silverbrook Research Pty. Ltd - Land
- 🇮🇪 Irland
🇦🇺
Silverbrook Research Pty Limited
Ehemaliges australisches Forschungsunternehmen für Tintenstrahldruck- und Sensortechnologien, mittlerweile inaktiv.
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