Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten mit Annähernder Verfahrensisolierung

EP2147130 Art A2 27. Januar 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2147130
Aktenzeichen: EP07840177
Anmeldetag: 11. Mai 2007
Veröffentlichung: 27. Januar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C16/54C03C17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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