Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Versatzes mittels Interferometrie mit mehreren Wellenlängen

EP2149778 Art B1 19. Juni 2013

Anmelder: Mitutoyo Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2149778
Aktenzeichen
EP09166890
Anmeldetag
30. Juli 2009
Veröffentlichung
19. Juni 2013
Erteilung
19. Juni 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G01B9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitutoyo Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitutoyo Corporation

Mitutoyo ist ein japanischer Hersteller von Präzisionsmessgeräten mit Sitz in Kawasaki. Die Patente betreffen Messtechnik, Koordinatenmessgeräte und Sensorik.

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