Verfahren und Vorrichtung für den Effizienten Betrieb eines Reduktionssystems

EP2150360 Art A1 10. Februar 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2150360
Aktenzeichen
EP08754676
Anmeldetag
24. Mai 2008
Veröffentlichung
10. Februar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G05B9/02B08B6/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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