Verteiler für reaktives Gas, Behandlungssystem für reaktives Gas und Behandlungsverfahren für reaktives Gas
EP2151509
Art A1
10. Februar 2010
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2151509
- Aktenzeichen
- EP08161747
- Anmeldetag
- 4. August 2008
- Veröffentlichung
- 10. Februar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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