Relaxation und Übertragung von Spannungsschichten

EP2151852 Art B1 15. Januar 2020

Anmelder: Soitec, S.O.I. TEC Silicon 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2151852
Aktenzeichen: EP08290759
Anmeldetag: 6. August 2008
Veröffentlichung: 15. Januar 2020
Erteilung: 15. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20H01L33/00H01L31/18H01L21/58// H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Soitec
S.O.I. TEC Silicon
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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