Dünnfilm des Verbundtyps, Verfahren zur Bildung eines Dünnfilms des Verbundtyps und Elektronische Vorrichtung mit dem Dünnfilm
Anmelder: National University Corporation Tohoku University, Rohm Co., Ltd., Tokyo Electron Limited, Ube Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2151853
- Aktenzeichen
- EP08752310
- Anmeldetag
- 2. Mai 2008
- Veröffentlichung
- 10. Februar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205C23C16/511H01L21/336H01L21/365H01L29/786H01L31/04H01L33/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- National University Corporation Tohoku University
Rohm Co., Ltd.
Tokyo Electron Limited
Ube Industries, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf integrierte Schaltkreise, diskrete Halbleiterbauelemente und Leistungshalbleiter (unter anderem Siliziumkarbid-Bauteile).
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Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Ube Industries war ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Ube, tätig in den Bereichen Chemie, Zement und Maschinenbau. Das Unternehmen firmiert seit 2022 als UBE Corporation.
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Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.