Halbleiterbauelement, Verfahren zu dessen Herstellung und dessen Verwendung

EP2152929 Art B1 28. September 2016

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2152929
Aktenzeichen: EP08758521
Anmeldetag: 14. Mai 2008
Veröffentlichung: 28. September 2016
Erteilung: 28. September 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/32H01L21/314H01L31/0216H01L31/052

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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