Reflektierender Spiegel mit Mehrschichtfilm und Optische Euv-Belichtungsvorrichtung damit
EP2153253
Art A1
17. Februar 2010
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2153253
- Aktenzeichen
- EP08740609
- Anmeldetag
- 11. April 2008
- Veröffentlichung
- 17. Februar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/08G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Wiedemann, Peter
München, Deutschland
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Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München