Arrays von Mikrokavitäts-Plasmageräten und Elektroden mit Reduzierter Mechanischer Belastung
EP2153454
Art B1
24. April 2013
Anmelder: The Board of Trustees of the University of Illinois, The Board Of Trustees Of The University Of Illinois 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2153454
- Aktenzeichen
- EP08779623
- Anmeldetag
- 15. Mai 2008
- Veröffentlichung
- 24. April 2013
- Erteilung
- 24. April 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J11/18C25D11/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- The Board of Trustees of the University of Illinois
The Board Of Trustees Of The University Of Illinois - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Board of Trustees of the University of Illinois
Aufsichtsgremium der University of Illinois, USA, über das Patente aus der universitären Forschung verwaltet werden.
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