Vorläufer zur Ablagerung von siliziumhaltigen Filmen und Verfahren zu deren Verwendung

EP2154141 Art B1 15. Juni 2016

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2154141
Aktenzeichen
EP09167403
Anmeldetag
6. August 2009
Veröffentlichung
15. Juni 2016
Erteilung
15. Juni 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C07F7/02C07F7/08C23C16/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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