Vorläufer zur Ablagerung von siliziumhaltigen Filmen und Verfahren zu deren Verwendung
EP2154141
Art B1
15. Juni 2016
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2154141
- Aktenzeichen
- EP09167403
- Anmeldetag
- 6. August 2009
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2016
- Erteilung
- 15. Juni 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F7/02C07F7/08C23C16/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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