Neue Kobaltvorläufer für Halbleiteranwendungen

EP2155924 Art A2 24. Februar 2010

Anmelder: L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2155924
Aktenzeichen
EP08751290
Anmeldetag
21. Mai 2008
Veröffentlichung
24. Februar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18C23C16/30C23C16/34C23C16/40C07F15/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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