Abstimmbares Filter, Lichtquellenanordnung und Spektrumsverteilungsmessanordnung

EP2157472 Art B1 30. Oktober 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2157472
Aktenzeichen
EP08753060
Anmeldetag
21. Mai 2008
Veröffentlichung
30. Oktober 2019
Erteilung
30. Oktober 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/13G01J3/18G02B5/30G02B27/00G02B27/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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