Benutzung einer Fotolackzusammensetzung für Negativ Arbeitende Entwicklung und Verfahren zur Strukturbildung mit der Fotolackzusammensetzung

EP2157477 Art B1 6. August 2014

Anmelder: FUJIFILM Corporation, Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2157477
Aktenzeichen: EP08777178
Anmeldetag: 12. Juni 2008
Veröffentlichung: 6. August 2014
Erteilung: 6. August 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004H01L21/027G03F7/039G03F7/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: FUJIFILM Corporation
Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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