Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von gereinigten Substraten oder reinen Substraten, die weiter bearbeitet werden
EP2158977
Art B1
17. Mai 2017
Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon, Oerlikon Trading AG, Trübbach 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2158977
- Aktenzeichen
- EP09173793
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 17. Mai 2017
- Erteilung
- 17. Mai 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B7/00H01J37/32H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Oerlikon Trading AG, Trübbach - Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon
Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.
286 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Troesch, Jacques J
Zumikon, Schweiz
82
Patente gesamt
11
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Troesch Scheidegger Werner AG
Troesch Scheidegger Werner AG · Zumikon