Beschichtungskammer mit beweglichem Schirm
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2159302
- Aktenzeichen
- EP08162906
- Anmeldetag
- 25. August 2008
- Veröffentlichung
- 9. Dezember 2015
- Erteilung
- 9. Dezember 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B65G49/06C23C14/56C23C16/54C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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