Vorrichtung zur Beschichtung durch Ablagerung physikalischer Dämpfe sowie Verfahren zur Ablagerung physikalischer Dämpfe

EP2159820 Art B1 11. April 2018

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon, Sulzer Metaplas GmbH 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2159820
Aktenzeichen: EP09161903
Anmeldetag: 4. Juni 2009
Veröffentlichung: 11. April 2018
Erteilung: 11. April 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Sulzer Metaplas GmbH
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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