Beschichtungsvorrichtung zum Beschichten eines Substrats, sowie ein Verfahren zum Beschichten eines Substrats

EP2159821 Art B1 15. Januar 2020

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon, Sulzer Metaplas GmbH 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2159821
Aktenzeichen: EP09161905
Anmeldetag: 4. Juni 2009
Veröffentlichung: 15. Januar 2020
Erteilung: 15. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34C23C14/22C23C14/32C23C14/35H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Sulzer Metaplas GmbH
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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