Verfahren zur Selektiven Bildung Asymmetrischer Strukturelemente unter Verwendung einer Symmetrischen Photomaske Während der Herstellung einer Halbleiteranordnung

EP2160754 Art B1 6. November 2013

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2160754
Aktenzeichen
EP08767988
Anmeldetag
30. Mai 2008
Veröffentlichung
6. November 2013
Erteilung
6. November 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311H01L21/033
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Micron Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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