System, Verfahren und Vorrichtung zur Aufrechterhaltung der Trennung von Flüssigkeiten in einem Gesteuerten Meniskus

EP2160756 Art A1 10. März 2010

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2160756
Aktenzeichen
EP08754399
Anmeldetag
13. Mai 2008
Veröffentlichung
10. März 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/302
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Lam Research Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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