Verfahren zum Abscheiden von Barriereschichten auf einem Kunststoffsubstrat, Beschichtungsvorrichtung dafür und Schichtensystem
Anmelder: Applied Materials, Inc., Biofilm S.A. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2161350
- Aktenzeichen
- EP08155403
- Anmeldetag
- 29. April 2008
- Veröffentlichung
- 12. September 2012
- Erteilung
- 12. September 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/08C23C14/56
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Biofilm S.A. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
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Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
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