Substratverarbeitungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP2161351 Art A1 10. März 2010

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2161351
Aktenzeichen: EP09180374
Anmeldetag: 21. Mai 2008
Veröffentlichung: 10. März 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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