Verfahren zur Herstellung eines lokal passivierten Germanium-on-Insulator-Substrats

EP2161742 Art A1 10. März 2010

Anmelder: Soitec, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies S.A., Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies, Commissariat A L'Energie Atomique - CEA 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2161742
Aktenzeichen
EP08290827
Anmeldetag
3. September 2008
Veröffentlichung
10. März 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies S.A.
Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies
Commissariat A L'Energie Atomique - CEA
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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