Temperaturstabile Tco-Schicht und Verfahren zur Herstellung

EP2162563 Art B1 15. August 2012

Anmelder: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, Forschungszentrum Jülich GmbH, Lee, Kyuyoul 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2162563
Aktenzeichen: EP08758116
Anmeldetag: 23. Mai 2008
Veröffentlichung: 15. August 2012
Erteilung: 15. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C03C17/36C03C17/34C23C14/08C23C14/58H01L31/18C23C26/00C23C28/00C23C30/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH
Forschungszentrum Jülich GmbH
Lee, Kyuyoul
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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