Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen von Vias in einer Halbleiter Fabrikation
EP2162905
Art B1
31. Oktober 2012
Anmelder: Microchip Technology Incorporated 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2162905
- Aktenzeichen
- EP08771544
- Anmeldetag
- 20. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2012
- Erteilung
- 31. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66H01L23/544G01R31/3185G01R31/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Microchip Technology Incorporated
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Microchip Technology
US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Chandler, Arizona, bekannt für Mikrocontroller und analoge Halbleiterbauelemente.
1.426 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grubert, Andreas
München, Deutschland
875
Patente gesamt
31
Fachgebiete
11
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Schwerpunkte