Verfahren zur Reduktion der Fermi-Kantenverankerung in einer Kanal-MOS-Vorrichtung ohne Silizium

EP2164094 Art B1 8. November 2017

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2164094
Aktenzeichen: EP09075423
Anmeldetag: 16. September 2009
Veröffentlichung: 8. November 2017
Erteilung: 8. November 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/78H01L21/324H01L21/28H01L21/30H01L29/51H01L29/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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