Neue Antioxidantien für nach Cmp zum Einsatz Kommende Reinigungsmittel

EP2164938 Art B1 21. Juni 2017

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc., Zhang, Peng, Barnes, Jeffrey, Sonthalia, Prerna, Cooper, Emanuel, Boggs, Karl 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2164938
Aktenzeichen
EP08755687
Anmeldetag
16. Mai 2008
Veröffentlichung
21. Juni 2017
Erteilung
21. Juni 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C11D1/00C11D1/62C11D3/30C09K13/00C23F11/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc.
Zhang, Peng
Barnes, Jeffrey
Sonthalia, Prerna
Cooper, Emanuel
Boggs, Karl
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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