Vorrichtung zum Beschichten von auf einem Suszeptor Angeordneten Substraten
EP2165006
Art B1
12. März 2014
Anmelder: Aixtron SE, AIXTRON AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2165006
- Aktenzeichen
- EP08760984
- Anmeldetag
- 13. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 12. März 2014
- Erteilung
- 12. März 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/458C30B25/12H01L21/687C30B25/10C23C16/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Aixtron SE
AIXTRON AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Aixtron
Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.
303 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Rieder, Hans-Joachim
Wuppertal, Deutschland
113
Patente gesamt
22
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte