Vorrichtung und Verfahren zur Bildung von Dünnen Schichten
EP2166131
Art A1
24. März 2010
Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2166131
- Aktenzeichen
- EP06797363
- Anmeldetag
- 4. September 2006
- Veröffentlichung
- 24. März 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40H01L21/31C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Anelva Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
421 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Musker, David Charles
London, Großbritannien
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