ALD-Herstellungsverfahren für einen Kondensator mit einer dielektrischen Schicht auf Strontium-Titanoxid-Basis

EP2166562 Art B1 20. März 2019

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2166562
Aktenzeichen: EP09075435
Anmeldetag: 22. September 2009
Veröffentlichung: 20. März 2019
Erteilung: 20. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/8242C23C16/40H01L21/314H01L21/316C23C16/455H01L27/108H01L49/02H01L27/11507

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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