Verfahren zur Verringerung einer Laserstrahlabweichung

EP2166626 Art A1 24. März 2010

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2166626
Aktenzeichen: EP08016395
Anmeldetag: 17. September 2008
Veröffentlichung: 24. März 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/00H01S3/225H01S3/034H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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