Lasererzeugte Plasma-Euv-Lichtquelle

EP2167193 Art B1 8. August 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2167193
Aktenzeichen: EP08794350
Anmeldetag: 11. Juni 2008
Veröffentlichung: 8. August 2018
Erteilung: 8. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: A61N5/06B82Y10/00G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik

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