Rekristallisierung von Halbleiterwafern in einer Dünnfilmkapsel und Diesbezügliche Prozesse
EP2168145
Art A1
31. März 2010
Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2168145
- Aktenzeichen
- EP08779827
- Anmeldetag
- 26. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 31. März 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Massachusetts Institute of Technology
US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.
5.635 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Popp, Eugen
München, Deutschland
1.363
Patente gesamt
34
Fachgebiete
25
Anmelder-Länder
Schwerpunkte