Prüfvorrichtung und Verfahren zum Korrigieren der sphärochromatischen Aberration
EP2169466
Art B1
7. Juni 2017
Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2169466
- Aktenzeichen
- EP09168787
- Anmeldetag
- 27. August 2009
- Veröffentlichung
- 7. Juni 2017
- Erteilung
- 7. Juni 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01N21/00G02B21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Holding N.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Slenders, Petrus Johannes Waltherus
Eindhoven, Niederlande
244
Patente gesamt
17
Fachgebiete
2
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Slenders, Petrus J. W
NoneEindhoven