Abbildungsfehlerkorrektor und damit ausgerüstetes Teilchenstrahlsystem
EP2169702
Art B1
2. November 2011
Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2169702
- Aktenzeichen
- EP09252208
- Anmeldetag
- 17. September 2009
- Veröffentlichung
- 2. November 2011
- Erteilung
- 2. November 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153H01J37/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- JEOL LTD.
JEOL Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
288 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte