Vorrichtung und Verfahren zum Abscheiden einer Gradientenschicht

EP2172578 Art A1 7. April 2010

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2172578
Aktenzeichen
EP09010367
Anmeldetag
12. August 2009
Veröffentlichung
7. April 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/08C23C14/06C23C14/56C23C14/35C23C16/44C23C14/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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