Verfahren zur Messung Optischer Kenngrössen, Verfahren zur Justierung Optischer Kenngrössen, Belichtungseinrichtung, Belichtungsverfahren und Belichtungseinrichtungs-Herstellungsverfahren
EP2172965
Art A1
7. April 2010
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2172965
- Aktenzeichen
- EP08777560
- Anmeldetag
- 24. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 7. April 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G01M11/02G03F1/08G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Kanzlei
Arnold & Siedsma
Den Haag, Niederlande
Arnold & Siedsma wurde 1920 gegründet und liegt im Haager Büro in Laufnähe zum Benelux-Amt für geistiges Eigentum. Mit Standorten in den Niederlanden, Belgien, München und London stützt sie sich auf ein weltweites Agentennetzwerk.
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