Verfahren zur Reinigung einer Halbleiterbehandlungskammer mit Fluor
EP2175046
Art A3
21. April 2010
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2175046
- Aktenzeichen
- EP10000647
- Anmeldetag
- 27. März 2001
- Veröffentlichung
- 21. April 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44H01L21/00B08B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Setna, Rohan P
London, Großbritannien
754
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
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Schwerpunkte