Strahlungsquelle, lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP2175701 Art B1 22. Januar 2014

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2175701
Aktenzeichen
EP09164844
Anmeldetag
8. Juli 2009
Veröffentlichung
22. Januar 2014
Erteilung
22. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G01K17/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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