Reinigungsratenverbesserung durch Druckgesteuerte Entfernte Plasmaquelle

EP2176444 Art A1 21. April 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2176444
Aktenzeichen: EP08781708
Anmeldetag: 11. Juli 2008
Veröffentlichung: 21. April 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44B08B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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