Doppelbelichtungsverfahren mit Vergroessertem Prozessfenster in der Halbleitererproduktion

EP2176710 Art B1 8. November 2017

Anmelder: Xilinx, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2176710
Aktenzeichen
EP08797219
Anmeldetag
5. August 2008
Veröffentlichung
8. November 2017
Erteilung
8. November 2017
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F7/40G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Xilinx, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Xilinx, Inc.

Xilinx, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller programmierbarer Logikbausteine (FPGAs), seit 2022 Teil von AMD, mit Patenten im Bereich Halbleitertechnik und Chipdesign.

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